发明名称 FILM THICKNESS CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5660310(A) 申请公布日期 1981.05.25
申请号 JP19790136854 申请日期 1979.10.23
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 OOSAWA YOUICHI
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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