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发明名称
摘要
申请公布号 JPS4428387(Y1) 申请公布日期 1969.11.25
申请号 JP19660096534U 申请日期 1966.10.19
申请人 发明人
分类号 B23Q7/04;B23Q3/08;H01L21/302;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B23Q3/08 主分类号 B23Q7/04
代理机构 代理人
主权项
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