| 摘要 |
<P>PROCEDE DE FABRICATION D'UN CAPTEUR 10 A COUCHES MINCES DANS LEQUEL ON DEPOSE TOUT D'ABORD SUR UN SUPPORT 11 UNE STRUCTURE MULTICOUCHES QUI PEUT COMPRENDRE UNE COUCHE INFERIEURE ISOLANTE 13, UNE COUCHE RESISTANTE ET UNE COUCHE CONDUCTRICE SUPERPOSEES. ON PEUT ENLEVER DES PARTIES DESDITES COUCHES PAR DES PROCEDES LITHOGRAPHIQUES APPROPRIES POUR FORMER UNE STRUCTURE RESISTANTE AYANT UNE SURFACE DE CONNEXION 20. UNE COUCHE EXTERNE PROTECTRICE 18 PEUT ETRE FORMEE SUR LA STRUCTURE RESISTANTE ET DES FENETRES 19 PEUVENT ENSUITE ETRE FORMEES DANS CETTE COUCHE 18 POUR OUVRIR ACCES A LA SURFACE 20 DE CONNEXION. LES FENETRES 19 SONT FORMEES PAR DES PROCEDES PHOTOLITHOGRAPHIQUES DANS UNE PHASE FINALE D'ENLEVEMENT.</P>
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