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经营范围
发明名称
IONENIMPLANTATIONSVERFAHREN
摘要
申请公布号
DE2945854(A1)
申请公布日期
1981.05.21
申请号
DE19792945854
申请日期
1979.11.13
申请人
DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH
发明人
HISS,ING.(GRAD.),LUDWIG;WALDVOGEL,DIPL.-PHYS.,ULRICH
分类号
H01L21/265;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/26
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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