发明名称 ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 AU516164(B2) 申请公布日期 1981.05.21
申请号 AU19780035080 申请日期 1978.04.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 C.M. MCKENNA;W.F. MUELLER
分类号 H01J37/20;H01J37/02;H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08;H01J37/30;H01L21/26;H01L21/68 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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