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经营范围
发明名称
ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号
AU516164(B2)
申请公布日期
1981.05.21
申请号
AU19780035080
申请日期
1978.04.13
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
C.M. MCKENNA;W.F. MUELLER
分类号
H01J37/20;H01J37/02;H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08;H01J37/30;H01L21/26;H01L21/68
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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