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发明名称 Verfahren zum Herstellen von homogenen Schutzschichten aus Siliziumnitrid
摘要
申请公布号 CH483876(A) 申请公布日期 1970.01.15
申请号 CH19660014649 申请日期 1966.10.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 YOUNG DOO,VEN;RAY NICHOLS,DONALD;AVONNE SILVEY,GENE
分类号 C23C16/34;H01L21/00;H01L21/318;H01L23/29;(IPC1-7):B01J17/00;C23C11/14 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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