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发明名称 APPARATUS FOR COATING WORKPIECES BY CATHODIC SPUTTERING
摘要
申请公布号 EP0006475(B1) 申请公布日期 1981.05.20
申请号 EP19790101708 申请日期 1979.06.01
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DYKEMAN, ROBERT HORTON;WONG, MAN-CHONG
分类号 C23C14/34;C23C14/40;C23C14/50;H01J37/34;(IPC1-7):23C15/00;01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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