发明名称 FLOW RATE CONTROL METHOD
摘要
申请公布号 JPS5657116(A) 申请公布日期 1981.05.19
申请号 JP19790132972 申请日期 1979.10.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 NISHIZUME KATSUHIRO
分类号 G05D7/06;G05D7/00;G21D3/08 主分类号 G05D7/06
代理机构 代理人
主权项
地址