发明名称 STABLE DEPOSITION OF MANGANESE FILM
摘要
申请公布号 JPS5656290(A) 申请公布日期 1981.05.18
申请号 JP19790133275 申请日期 1979.10.15
申请人 FUKUSHIMA HIROO 发明人 FUKUSHIMA HIROO
分类号 C02F1/64;C01B39/02 主分类号 C02F1/64
代理机构 代理人
主权项
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