发明名称 |
Verfahren zum Zuechten stabfoermiger,versetzungsfreier Einkristalle,insbesondere aus Silizium,durch tiegelfreies Zonenschmelzen |
摘要 |
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申请公布号 |
DE1619994(A1) |
申请公布日期 |
1970.03.26 |
申请号 |
DE1967S108715 |
申请日期 |
1967.03.09 |
申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
KELLER,DR.WOLFGANG;LONGO,HANS-EBERHARD;VOGEL,DR.CARL-HEINZ |
分类号 |
C01B33/02;C30B13/24;C30B13/34;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C01B33/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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