PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE ARTICULOS ESPECIALMENTE UTI-LES EN LA FABRICACION DE CIRCUITOS INTEGRADOS DE GRAN ESCALA

摘要

PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE MOLDES PARA LA FABRICACION DE CIRCUITOS INTEGRADOS DE GRAN ESCALA. SOBRE UNA CAPA DEL ARTICULO A FABRICAR SE SUPERPONE UNA CAPA DE ELABORACION ACTINICA, SENSIBLE A LA RADIACION, SOMETIENDO ESTA A RADIACION SE DEFINE LA FORMA DEL PATRON, PARA QUE POSTERIORMENTE UN AGENTE DE REVELADO ELIMINE LAS ZONAS NO IRRADIADAS Y FINALMENTE UN AGENTE DE ALTERACION ATAQUE LAS ZONAS DEL ARTICULO DONDE NO QUEDA CAPA DE ELABORACION.