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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5656165(U)	申请公布日期	1981.05.15
申请号	JP19790137338U	申请日期	1979.10.05
申请人		发明人
分类号	H01J37/317;G01N27/62;H01J49/26;H01L21/265;(IPC1-7):H01J49/26	主分类号	H01J37/317
代理机构		代理人
主权项
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