发明名称
摘要
申请公布号 JPS5620562(B2) 申请公布日期 1981.05.14
申请号 JP19720121769 申请日期 1972.12.04
申请人 发明人
分类号 H03F3/343;G05F1/56;H01L21/331;H01L29/73;H03F3/34 主分类号 H03F3/343
代理机构 代理人
主权项
地址