FOTOSCHABLONE UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG,申请号DD19790216494-传众专利搜索

发明名称	FOTOSCHABLONE UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号	DD148177(A3)	申请公布日期	1981.05.13
申请号	DD19790216494	申请日期	1979.10.26
申请人	GUNINA,NINA M.,SU;POJARKOV,IGOR I.,SU;LOGUTOVA,LJUDMILA V.,SU;STEPANOV,VALERIJ V.,SU;LAVRENTEV,KONSTANTIN A.,SU;CERNIKOV,ANATOLIJ M.,SU	发明人	GUNINA,NINA M.,SU;POJARKOV,IGOR I.,SU;LOGUTOVA,LJUDMILA V.,SU;STEPANOV,VALERIJ V.,SU;LAVRENTEV,KONSTANTIN A.,SU;CERNIKOV,ANATOLIJ M.,SU
分类号	G03F1/56;G03F1/58;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/308	主分类号	G03F1/56
代理机构		代理人
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