| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING FIELD FOR UNIFORM GASEOUS MOLECULE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5651828(A) |
申请公布日期 |
1981.05.09 |
| 申请号 |
JP19800090786 |
申请日期 |
1980.07.04 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
JIYABUASU KUTEIKARAN HATSUSAN;JIYON ANJIERO PAIBANASU |
| 分类号 |
B01J19/08;B01J19/26;C23C14/34;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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