发明名称
摘要
申请公布号 DE2338160(C3) 申请公布日期 1981.05.07
申请号 DE19732338160 申请日期 1973.07.27
申请人 HEWLETT-PACKARD CO., 94304 PALO ALTO, CALIF., US 发明人 KAKIHANA, SANEHIKO, LOS ALTOS, CALIF., US;STONEHAM, EDWARD B., STANFORD, CALIF., US
分类号 H01L21/027;C23F1/00;G03F7/09;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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