| 发明名称 |
LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5650198(A) |
申请公布日期 |
1981.05.07 |
| 申请号 |
JP19790127528 |
申请日期 |
1979.10.01 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HISAMOTO YOSHIAKI;KITABI SHIGERU |
| 分类号 |
C30B19/06;C30B19/00;H01L21/02;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B19/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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