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发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR BESCHICHTUNG EBENER SUBSTRATE IM VAKUUM
摘要
申请公布号 DD148065(A1) 申请公布日期 1981.05.06
申请号 DD19790217895 申请日期 1979.12.20
申请人 REISSMUELLER,LOTHAR,DD;HUEBNER,DIETRICH,DD 发明人 REISSMUELLER,LOTHAR,DD;HUEBNER,DIETRICH,DD
分类号 (IPC1-7):C23C13/00 主分类号 (IPC1-7):C23C13/00
代理机构 代理人
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