发明名称
摘要
申请公布号 JPS5619109(B2) 申请公布日期 1981.05.06
申请号 JP19710076361 申请日期 1971.10.01
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/00;H01L29/08;H01L29/74;(IPC1-7):H01L29/74;H01L29/10 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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