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发明名称 HIGH FREQUENCY ION SOURCE FORMED BY A DISCHARGE BETWEEN A SECONDARY-EMITTING ELECTRODE AND A GRID
摘要
申请公布号 US3532915(A) 申请公布日期 1970.10.06
申请号 USD3532915 申请日期 1968.04.02
申请人 U.S. PHILIPS CORP. 发明人 ROBERT EVRARD
分类号 H01J27/16;H01J41/18;H01J41/20;(IPC1-7):H05H/;H01J43/00 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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