| 发明名称 |
SOLUZIONE DI SVILUPPO PER PELLICOLE FOTOSENSIBILI CONTENENTI UNO STRATO DI PHOTORESIST SU UN SUBSTRATO RIVESTITO CON ALLUMINIO E PROCEDIMENTO DI IMPIEGO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT8148391(D0) |
申请公布日期 |
1981.05.04 |
| 申请号 |
IT19810048391 |
申请日期 |
1981.05.04 |
| 申请人 |
MINNESOTA MINING AND MANUFACTURING COMPANY |
发明人 |
RICHARD S.FISCH |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F1/08;G03F7/30;G03F7/32 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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