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发明名称 PLASMA REACTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5648238(A) 申请公布日期 1981.05.01
申请号 JP19790125091 申请日期 1979.09.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ABE HARUHIKO;HARADA HIROJI;YONEDA MASAHIRO;TSUBOUCHI NATSUO;OOHAYASHI YOSHIKAZU
分类号 B01J19/08;C23F4/00;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/24;H05H1/46 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
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