| 发明名称 |
EVACUATED GASEOUS PHASE REACTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5648237(A) |
申请公布日期 |
1981.05.01 |
| 申请号 |
JP19790125035 |
申请日期 |
1979.09.28 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NOMURA YOSHIFUMI;SASAKI HIROO |
| 分类号 |
C30B25/14;B01J12/02;C01B33/113;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/00;H01L21/20;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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