发明名称 STRUCTURE CONDUCTRICE COMPOSITE POUR CIRCUITS INTEGRES ET PROCEDE DE FABRICATION
摘要 <P>L'invention concerne la technologie des semi-conducteurs. Une structure. conductrice composite comprend un substrat isolant 13, 14 dont la surface supérieure porte une couche de silicium polycristallin 15a de configuration déterminée. Un conducteur composite est formé par un conducteur en métal réfractaire 17 et par une couche de siliciure de ce métal 18 qui entoure les surfaces à nu du conducteur. </P><P>Application à la fabrication des circuits intégrés.</P>
申请公布号 FR2468206(A1) 申请公布日期 1981.04.30
申请号 FR19800022678 申请日期 1980.10.23
申请人 GENERAL ELECTRIC CY 发明人 KIRBY GANNETT VOSBURGH
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/321;H01L23/52;H01L23/532;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;(IPC1-7):01L21/72;01L21/28 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利