| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON LEISTUNGS-SCHALTVORRICHTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3037316(A1) |
申请公布日期 |
1981.04.23 |
| 申请号 |
DE19803037316 |
申请日期 |
1980.10.02 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. |
发明人 |
AZUMI,MAKOTO;AKAGI,JUNKO |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/225;H01L29/167;H01L29/744;(IPC1-7):H01L21/22;H01L29/74 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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