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发明名称 METHOD OF TOUCH-FREE MEASURING OF TRANSVERSE DIMENSION OF A MICRO-OBJECT
摘要
申请公布号 SU823843(A1) 申请公布日期 1981.04.23
申请号 SU19792789612 申请日期 1979.07.03
申请人 INST PROBLEM UPRAVLENIA AVTOM 发明人 KRASNOV ANDREJ E,SU;GUGUNISHVILI GIVI G,SU
分类号 G01B9/00;(IPC1-7):G01B9/00 主分类号 G01B9/00
代理机构 代理人
主权项
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