| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SEMICONDUCTORRWAFER PECVVTREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5643724(A) |
申请公布日期 |
1981.04.22 |
| 申请号 |
JP19790117819 |
申请日期 |
1979.09.13 |
| 申请人 |
PACIFIC WESTERN SYSTEMS |
发明人 |
JIYOOJI EMU ENGURU JIYUNIAA |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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