发明名称 HIGH-LOW OHMIC CONTACT DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 US3574680(A) 申请公布日期 1971.04.13
申请号 USD3574680 申请日期 1968.05.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 JOHN A. PERRI;JACOB RISEMAN
分类号 A63H18/08;C23C14/00;C23C16/00;H01H11/04;H01L21/00;H01L21/24;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/285;(IPC1-7):C23C11/02;H01K7/00 主分类号 A63H18/08
代理机构 代理人
主权项
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