TARGETSYSTEM ZUR PLASMAZERSTAEUBUNG,申请号DD19780206306-传众专利搜索

发明名称	TARGETSYSTEM ZUR PLASMAZERSTAEUBUNG
摘要
申请公布号	DD147779(A3)	申请公布日期	1981.04.22
申请号	DD19780206306	申请日期	1978.06.27
申请人	ROST,MANFRED,DD;BRUECKNER,GUENTER,DD;REISSE,GUENTER,DD;GEIER,HORST,DD	发明人	ROST,MANFRED,DD;BRUECKNER,GUENTER,DD;REISSE,GUENTER,DD;GEIER,HORST,DD
分类号	(IPC1-7):C23C15/00	主分类号	(IPC1-7):C23C15/00
代理机构		代理人
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