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发明名称 ELECTRODE MATERIAL FOR SPUTTERING ION PUMP
摘要
申请公布号 JPS5641342(A) 申请公布日期 1981.04.18
申请号 JP19790115772 申请日期 1979.09.11
申请人 ULVAC CORP 发明人 FUKUBE YOSHITO
分类号 C23C14/14;B22F7/04;C22C14/00;C22C16/00;C22C27/00;C22F1/16;C22F1/18;C23C14/16 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
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