发明名称
摘要
申请公布号 DE2047756(A1) 申请公布日期 1971.06.03
申请号 DE19702047756 申请日期 1970.09.29
申请人 TRW INC 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/24;H01L21/329;H01L29/00;H01L29/866;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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