| 摘要 |
<p>Une structure a film mince est concue avec la capacite de syntonisation et de decoupage au laser de faible puissance. Des fenetres de decoupage (14) dans un plan de base plaque (12) sont amenagees pour permettre d'effectuer des syntonisations automatisees en utilisant des laser de puissance relativement faible. Les fenetres de decoupage sont conductrices, mais la couche la plus grosse (25) de cuivre plaque est omise de ces regions, laissant seulement les couches de titanium-cuivre evapore-or (18, 20, 26). Le procede peut egalement former des regions (28) de substrats a nu.</p> |
