发明名称 X-RAY RESISTS
摘要
申请公布号 AU6298380(A) 申请公布日期 1981.04.16
申请号 AU19800062983 申请日期 1980.10.06
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 A. AVIRAM
分类号 G03F7/004;G03C1/675;G03C5/00;G03C5/16;G03F7/038;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
地址