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发明名称
X-RAY RESISTS
摘要
申请公布号
AU6298380(A)
申请公布日期
1981.04.16
申请号
AU19800062983
申请日期
1980.10.06
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.
发明人
A. AVIRAM
分类号
G03F7/004;G03C1/675;G03C5/00;G03C5/16;G03F7/038;H01L21/027;H01L21/302
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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