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发明名称
DETECTOR FOR REGISTER MARK
摘要
申请公布号
JPS5639407(A)
申请公布日期
1981.04.15
申请号
JP19790114162
申请日期
1979.09.07
申请人
HITACHI LTD
发明人
KOIZUMI MITSUYOSHI;AKIYAMA NOBUYUKI;OOSHIMA YOSHIMASA
分类号
G01B11/00;G02F1/13;G05D3/12
主分类号
G01B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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