发明名称 EXHAUSTING DEVICE OF TURBOOMOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPS5638598(A) 申请公布日期 1981.04.13
申请号 JP19790112964 申请日期 1979.09.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITOU NAOTAKE
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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