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经营范围
发明名称
EXHAUSTING DEVICE OF TURBOOMOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号
JPS5638598(A)
申请公布日期
1981.04.13
申请号
JP19790112964
申请日期
1979.09.05
申请人
HITACHI LTD
发明人
SAITOU NAOTAKE
分类号
F04D19/04
主分类号
F04D19/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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