发明名称 |
PREPARATION OF COATING SOLUTION FOR FORMATION OF HIGHH PURITY SILICA FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5638362(A) |
申请公布日期 |
1981.04.13 |
申请号 |
JP19790114398 |
申请日期 |
1979.09.06 |
申请人 |
TOKYO DENSHI KAGAKU KK |
发明人 |
NISHIMURA TOSHIHIRO;MINATO MITSUAKI;HASHIMOTO AKIRA;NAKAYAMA MUNEO |
分类号 |
C08G77/00;C08G77/32;C08G77/34;C09D183/04 |
主分类号 |
C08G77/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|