发明名称 PREPARATION OF COATING SOLUTION FOR FORMATION OF HIGHH PURITY SILICA FILM
摘要
申请公布号 JPS5638362(A) 申请公布日期 1981.04.13
申请号 JP19790114398 申请日期 1979.09.06
申请人 TOKYO DENSHI KAGAKU KK 发明人 NISHIMURA TOSHIHIRO;MINATO MITSUAKI;HASHIMOTO AKIRA;NAKAYAMA MUNEO
分类号 C08G77/00;C08G77/32;C08G77/34;C09D183/04 主分类号 C08G77/00
代理机构 代理人
主权项
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