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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DREISCHICHT HALBLEITERSCHEIBE
摘要
申请公布号 DE1764400(B2) 申请公布日期 1971.09.09
申请号 DE19681764400 申请日期 1968.05.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L23/29;H01L29/00;(IPC1-7):01L7/44 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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