| 发明名称 |
MICROPATTERN MEASURING METHOD BY ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5637501(A) |
申请公布日期 |
1981.04.11 |
| 申请号 |
JP19790113395 |
申请日期 |
1979.09.03 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KATOU TADAO;WATAKABE YAICHIROU |
| 分类号 |
G01B15/00;G01B7/00;H01J37/147;H01J37/28;H01L21/66;H01L21/68 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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