发明名称 TEST UNIT FOR SEMICONDUCTOR CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5637572(A) 申请公布日期 1981.04.11
申请号 JP19790113931 申请日期 1979.09.05
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KITAGAWA KAZUO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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