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经营范围
发明名称
TEST UNIT FOR SEMICONDUCTOR CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS5637572(A)
申请公布日期
1981.04.11
申请号
JP19790113931
申请日期
1979.09.05
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
KITAGAWA KAZUO
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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