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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3034900(A1) 申请公布日期 1981.04.09
申请号 DE19803034900 申请日期 1980.09.16
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K. 发明人 ABE,HARUHIKO;HARADA,HIROSHI;KINOSHITA,SHIGEJI;HIRATA,YOSHIHIRO;DENDA,MASAHIKO;AKASAKA,YOICHI
分类号 H01L21/265;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/60 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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