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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5615140(B2)
申请公布日期
1981.04.08
申请号
JP19730074168
申请日期
1973.06.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/822;H01L21/761;H01L27/04
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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