发明名称
摘要
申请公布号 JPS5615134(B2) 申请公布日期 1981.04.08
申请号 JP19730083155 申请日期 1973.07.25
申请人 发明人
分类号 C30B25/16;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
主权项
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