发明名称 Electro-optical Inspection of Workpieces
摘要
申请公布号 GB2058344(A) 申请公布日期 1981.04.08
申请号 GB19800028532 申请日期 1980.09.04
申请人 DIFFRACTO LTD 发明人
分类号 G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B11/245;(IPC1-7):G01B11/00;G01B21/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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