发明名称
摘要
申请公布号 JPS5615138(B2) 申请公布日期 1981.04.08
申请号 JP19720039816 申请日期 1972.04.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H01L21/301 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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