发明名称
摘要
申请公布号 JPS5614747(B2) 申请公布日期 1981.04.06
申请号 JP19780021336 申请日期 1978.02.23
申请人 发明人
分类号 C23C14/06;C23C14/14;C23C14/16;C23C14/20;C23C28/02 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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