| 摘要 |
Un reacteur cylindrique de plasmas (10), a ecoulement radial a excitation (RF), comprend un guide d'ondes toroidal (17) de section rectangulaire connecte a une source de micro-ondes (21). On fait passer l'une des especes reactionnelles (37) au travers du guide d'ondes et elle est pre-ionisee, permettant ainsi une commande independante sur l'activation des deux especes reactionnelles. |
