发明名称 SILICON SINGLE CRYSTAL PULLING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5632397(A) 申请公布日期 1981.04.01
申请号 JP19790104824 申请日期 1979.08.17
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO 发明人 MATSUO HIDEYASU;HONMA KAZUMOTO;IMANISHI YASUHIRO
分类号 C30B15/10;C30B15/12;C30B29/06 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
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