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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTIVE MATERIAL
摘要
申请公布号
PL115365(B1)
申请公布日期
1981.03.31
申请号
PL19780209746
申请日期
1978.09.21
申请人
发明人
分类号
C30B25/00;C01B33/02;C23C16/52;C30B25/16;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):B01J17/28
主分类号
C30B25/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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