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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES HALBLEITERBAUELEMENTES MIT MIS STRUKTUR
摘要
申请公布号 DE1589890(B2) 申请公布日期 1972.02.17
申请号 DE19671589890 申请日期 1967.06.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/29;H01L23/485;H01L29/00;(IPC1-7):01L7/50 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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