发明名称 VERFAHREN ZUM VERBESSERN UND STABILISIEREN DER ELEKTRISCHEN EIGENSCHAFTEN EINER HALBLEITERANORDNUNG MIT EINER ISOLIER SCHUTZSCHICHT
摘要
申请公布号 DE1589901(B2) 申请公布日期 1972.02.17
申请号 DE19671589901 申请日期 1967.09.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/3105;H01L21/56;H01L29/00;(IPC1-7):H01L1/10 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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